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Micro et nanofils en silicium : propriétés et applications
L'ONERA organise un séminaire présenté par Alain Bosseboeuf (Institut d'Electronique Fondamentale, Centre Scientfique d'Orsay) qui aura lieu dans les locaux de l'ONERA Bâtiment Ma - Fort de Palaiseau - 91120 Palaiseau, dans la salle Ma.01.02.
Lundi 27 Février 2012 à 11h
Les microfils (ou microponts) et les nanofils sont des éléments de bases de nombreux microcateurs physiques, chimiques et biologiques.
Après une revue rapide des effets de taille sur les propriétés électtro-thermo-mécaniques des micro et nano structures en silicium et des résultats de mesures obtenus à dans le département micro/nano Bio et microsystèmes de l'Institut d'Electronique, quelques exemples d'applications que nous avons étudiées ou qui sont en cours d'étude seront présentés comme les microrésonateurs paramétriques, les nanojauges de contraintes, les microjauges Pirani et les microcapteurs multiphysiques reconfigurables.